类型:气体检漏仪 | 型号:000 | 品牌:安徽皖仪 |
加工定制:否 |
产品介绍:
SFJ-231D型半导体专用氦质谱检漏仪是借鉴国外先进的检漏技术和我公司质谱生产经验设计而成。关键部件均采用进口,性能稳定可靠。它不仅灵敏度高,而且操作方便,能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换,达到目前国际上先进水平。
主要技术指标:
最小可检漏率:5×10-13Pa·m3/s
漏率显示范围:1×10-3~1×10-13Pa·m3/s
启动时间:≤5min
响应时间:<1s
检漏口最高压力:1500Pa
检漏口对氦气的抽速:2.5L/s
质谱室极限真空:5×10-4Pa
重量:75KG
外型尺寸:880(W)×420(D)×835 (H)
性能特点:
操作简单,通常只需两键(检漏和放气)
进口的多口分子泵
双灯丝自动切换
自动调零
自动校准
自动量程切换
铱丝离子源,使用寿命更长