加工定制:否 |
品牌:Brooks |
型号:Zbot |
用途:半导体硅片搬送 |
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械手翻新流程: - 入库外观检查和评估
- 登记机械手出厂序列号及其他信息,如果发现运输导致损坏或明显的损坏,对其进行拍照记录。
- 进行机械、电气、气路以及软件检查,包括各轴运动、I/O板、传感器、通讯以及真空。
- 检查文件以及状态。
- 更换和翻新
- 重新组装丝杠或滚珠丝杠。
- 更换所有传送同步皮带。
- 更换所有轴承,清理直线导轨,重新上润滑油。
- 更换柔性电缆。
- 更换气动元件包括阀、传感器、气管及其他配件。
| 3. 检查如有需要则更换- 检查及测试Z轴马达、驱动机构和制动器,如有需要更换。
- 检查和测试Z轴原点和限位传感器,如有需要更换。
- 检查测试T轴马达和驱动机构,如有需要更换。
- 检查和测试T轴原点和限位传感器,如有需要更换。
- 检查测试R轴马达和驱动机构,如有需要更换
- 检查和测试R轴原点和限位传感器,如有需要更换。
- 检查测试电缆,如有要求更换。
- 检查测试内部电路板,如有需要更换。
- 检查包括其他部件,如有需要更换或修复。
- 老化测试
- 完成48小时老化试验,确保所有通讯、CPU板和机械动作正常。
- 翻新后 完成重复性测试,正常速度下最小500个周期。
- 完成最终检查和系统的检查表。
- 最后包装。
- 将翻新好的机械手和文件寄送给客户
- 保修期3~6个月
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驰舰半导体科技:
国内专业的半导体机械手销售、维护、再生和修理公司。
拥有众多大型Fab工作及多年Robot维修经验的工程师。
公司强项:Genmark,MECS,Rorze,PRI,Equipe,Brooks Zbot等
公司网址: www.eiitech.net
www.eiitech.cn
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