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PVD1912真空镀膜机
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PVD1912真空镀膜机

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最后更新: 2013-05-27
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产品详细说明 收藏此产品
是否提供加工定制:是 品牌:沈阳威利德 型号:PVD1912
适用范围:用于钟表、眼镜架、手机、刀具、水晶及五金件镀膜,可镀制IP黑、IP蓝、IP仿金、炉内金、玫瑰金、IPG、IPS等各种颜色、各种功能的装饰涂层及硬质耐磨涂层。 产品别名:磁控溅射镀膜机 电镀电源:双脉冲电源
电镀位置:表面装饰镀 镀种:真空镀膜 镀膜材质:氮化钛膜
镀膜原理:溅射镀膜

主要技术参数:

1.      极限真空度:8.0x10-4Pa;
2.      工作真空度:6.67x10-3Pa;
3.      抽速:从大气抽至6.67x10-3Pa,<15分钟;
4.      压升率:0.5Pa/小时;
5.      自转轴中心距:210mm;
6.      工位:20个(工件架最大自转半径为180mm);
7.      电气控制系统:PLC全自动控制,可动行多种工艺设置。

产品名称
PVD1912
数量
真空系统
1.2x70旋片泵三台(南光);
2.RTO·300S罗茨泵一台(上海萃曼);
3.F400/3500分子泵三台(KYKY);
4.阀门:前级阀、预抽阀、维持阀以上为GDQ100型不锈钢结构,DDC-JQ80型电磁真空带充气阀为上海二阀电磁阀,旁通阀为罗茨泵内安装阀;
5.管道为全不锈钢结构,分子泵出口为波纹管连接。
1套
真空室
1.罐体材料为304不锈钢带夹层水冷套结构,内尺寸Φ1900x1200mm,内壁厚10mm,上盖板布置12对(24支)磁控靶位孔位,预留两个离子源接口,抽气口两侧排布两组八支弧源,门上两个观察窗;
2.工件支杆2套Ø14mm;
3.内衬板2套;
4.布气管路;
5.放气阀加装空气滤清器;
6.转架为下转架,带屏蔽罩。
1套
偏压电源
脉冲逆变PLS50KW(珠海盛普)
1台
中频电源
中频逆变MF40KW(珠海盛普)
12台
弧电源
直流逆变DC160A(深圳瑞凌)
8台

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