Agilent 10716A 高分辨率干涉仪适用于单轴和多轴测量应用，例如高精度 X-Y 工作台。 10716A 的分辨率是传统平面镜干涉仪的两倍，其出色的热稳定度可与 10706B 高稳定度平面镜干涉仪相媲美。 测量结果漂移通常只有传统平面镜干涉仪的 1/2。 这些特性综合起来，可以改善精度、可重复性和热稳定度。 然而，其斜率减半。

10716A 包含一个 10723A 高稳定度适配器（由高稳定度反射镜和 1/4 波片组成），作为参考；两个逆向反射镜，用于操纵光束路径；以及一个 1/4 波片。 用户必须提供测量平面镜，例如 10724A 平面反射镜。

10716A 选件 001 可用于要求干涉仪对光束进行调整的光学版图。

• 应用： 平面镜，高分辨率
• 迥然不同的新特性： High resolution
• 轴数： 1
• 最大光束直径： 6 mm
• 光束隔离： 12.7 mm（0.5 英寸）
• 重量： 502 g（1 磅 1.7 盎司)
• 基本光分辨率： λ/8（79.1 nm，3.1 µin）
• 系统分辨率： λ/256（2.5 nm，0.1 µin），使用 32 倍电子分辨率扩展
• 系统分辨率： λ/2048（0.31 nm，0.012 µin），使用 256 倍电子分辨率扩展
• 反射镜： 10724A 或用户提供
• 使用的安装架座： 10711A
• 参考： 无
• 可调谐配置： 支持。 需要选件 001