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先进制程的开发初期都需要在实验室进行许多测试,我公司制造之真空腔体装配于多种实验设备,为研究者提供了适当的工具以进行各项实验。
我公司建立的实绩包括各种实验用镀膜腔体、太空模拟装置、表面分析系统、光学量测系统及气体检测设备等,另外也承制了国内外同步辐射中心超高真空系统的腔体。
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