高效过滤器的检漏通常采用DOP发生器在滤器上游发尘，使用光度计（photometer）检测滤器上下游气溶胶浓度来判定过滤器是否有泄露。 发尘的目的是因高效过滤器上游尘粒浓度较低，仅用粒子计数器在不发尘的情况下检测，较难发现有泄露，需补充发尘才能明显、容易地发现泄露。

       当气流被真空泵抽至光散射室时，其中的颗粒物质散射光线至光电倍增管。在光电倍增管中，光被转换成电信号，此信号经放大和数字化后有微处理器分析，从而测定散射光的强度。通过与参比物质产生的信号的对比，可以直接测量气体中颗粒物质的质量浓度，因此其用途十分广泛。

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