| 品牌：TH/世新 |
型号：TH-VSL220 |
别名：真空炉，高温真空炉，多晶硅真空炉，立式真空炉 |
| 用途：多晶硅处理 |
电动机功率：180（kw） |
外形尺寸：Φ800&tiMES;1200（mm） |
| 重量：300（t） |
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| 均匀的加热、可靠的隔热及测温： |
| 合理的加热结构，优良的材质，保证真空状态下炉温的均匀性。 |
| 采用品牌测温元件，准确测温。 |
| 适用性： |
| 单室、内热、冷壁，立式结构，设备布置紧凑合理，占地面积小。 |
| 炉底可升降并水平移动，装料极为方便。 |
| 先进的自动控制及可靠的安全联锁： |
| 采用工控触摸一体化全自动控制、PLC实现安全联锁，具有超压、超温、水温过高等声光报警及联锁保护功能。 |
| 环保、节能型： |
| 采用阻性加热，温度控制精度高，无噪音，对电网无污染，电能利用率高。 |
| 产品型号规格 | TH-VSL120 | TH-VSL220 | TH-VSL280 | TH-VSL360 | TH-VSL450 |
| 额定炉温（℃） | 2100 | 2100 | 2100 | 2100 | 2100 |
| 极限炉温（℃） | 2150 |
| 控温精度（℃） | ≤±5 |
| 额定功率（KW） | 120 | 220 | 280 | 360 | 450 |
| 额定电源电压（V） | 380 |
| 额定加热电压（V） | 根据设计确定，均配置有炉前变压器 |
| 极限真空度(Pa) | ≤6.67(空炉冷态) |
| 真空压升率（Pa/24h） | ≤50 |
| 工作区尺寸（mm） | Φ600×1000 | Φ800&tiMES;1200 | Φ1000×1600 | Φ1200×1800 | Φ1600×2500 |
| 控温系统配置 | 采用日本SHIMADEN（岛彦／岛电）可编程调节器 |
| 真空系统配置 | 旋片式真空泵+罗茨真空泵 |
| 根据客户需要，可升级配置 |
| 1、可配PLC可编程控制器及图形操作终端（触摸屏）控制系统； |
| 2、根据真空度的要求加配油扩散泵，极限真空度可达6.7×10-4Pa； |
| 3、微负压烧结系统：在烧结阶段可设定一个微负压力值，实现炉内恒压烧结，改善产品致密性，提高烧结产品质量。 |
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