YL-ZLC系列多功能镀膜机型号及技术参数

典型型号

YL-ZLC500

YL-ZLC 900

YL- ZLC 1000

YL- ZLC 1200

YL- ZLC 1400

YL- ZLC 1600

镀膜室尺寸

Ф500&tiMES;H600mm

Ф900×H1100mm

Ф1000&tiMES;H1200mm

Ф1200×H1300mm

Ф1400×H1600mm

Ф1600×H1800mm

电源类型

蒸发电源、电弧电源、灯丝电源、偏压电源、直流电源、中频电源、射频电源、离化源

真空室结构

立式前开门单门、双门结构、后置抽气系统，卧式、滚镀、侧置抽气系统

真空室材质

全碳钢、碳钢加不锈钢、全优质不锈钢材质、单层、双层腔体

极限真空

6.0×10^-4Pa

抽气时间

从大气抽至8.0×10^-3Pa≤15分钟   (空载）

真空获得系统

扩散泵或分子泵+罗茨泵+机械泵+维持泵（具体型号可根据客户的要求进行配置）

镀膜方式

蒸发镀膜、电弧离子镀膜、磁控直流溅射镀膜。磁控中频溅射镀膜、磁控射频溅射镀膜

制膜种类

金属膜、反应膜、化合物膜、多层膜、半导体膜、绝缘膜、太阳能吸收膜，超硬膜

电弧磁控靶型

圆形电弧靶、圆型磁控靶、矩型磁控靶、圆柱型磁控靶、孪生磁控对靶、平衡与非平衡磁控靶

电源功率及磁控靶数量

根据不同镀膜工艺和客户的需求进行选配

偏压电源

10KW/1台

20KW/1台

20KW/1台

30KW/1台

40KW/1台

50KW/1台

工件转架
转动方式

公转、行星式公自转、变频调速（可控可调）

工艺气体

手动针阀调节、3路或4路工艺气体流量控制及显示系统、选配自动加气系统

冷却方式

水循环冷却方式，另需配冷却水塔或工业冷水机或深冷系统。（客户提供）

控制方式

手动/自动一体化方式、触摸屏操作、PLC或计算机控制、膜厚监视仪、自动充气控制

整机总功率

25KW

35KW

40KW

50KW

65KW

80KW

报警及保护

对泵和靶等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警，并执行相应保护措施及电气联锁功能。

设备占地面积

W2m×L3m

W2.5m×L3.5m

W3m×L4m

W4m×L5m

W4.5m×L6m

W5m×L7m

其它技术参数

水压≥0.2MPa、水温≤25℃、气压0.5-0.8MPa

通用机型

实验机、 蒸发加磁控加轰击，专镀塑料与玻璃等非金属、 电弧加磁控加离化源， 专镀膜金属