YL-FLD系列真空工具镀镀膜机型号及技术参数

性能 型号

YL-FLD9011

YL-FLD1135

YL-FLD1314

镀膜室尺寸

Ф900&tiMES;H1100mm

Ф1100×H1350mm

Ф1300&tiMES;H1400mm

电源类型

脉冲偏压电源、电弧靶电源、脉冲电弧靶电源、离子离化电源

真空室结构

立式前开门单门、双门结构、后置抽气系统，卧式、滚镀、侧置抽气系统

真空室材质

全优质不锈钢材质、双层室体

极限真空

8.0X10^-4Pa

抽气时间

从大气抽至8.0×10^-3Pa≤16分钟     (空载）

真空获得系统

扩散泵或分子泵+罗茨泵+机械泵+维持泵（具体型号可根据客户的要求进行配置）

制膜种类

金属膜、反应膜、化合物膜、多层膜、半导体膜、超硬膜

多弧靶类型

圆型60-100电弧靶、矩型电弧靶、圆柱型电弧靶、电磁电弧靶

电弧电源功率及电弧靶数量

根据不同镀膜工艺和客户的需求进行选配

偏压电源

20KW/1台

30KW/1台

40KW/1台

工件转架
转动方式

行星式公自转、变频调速（可控可调）

工艺气体

3路或4路工艺气体流量控制及显示系统 选配自动加气系统

冷却方式

水循环冷却方式，另需配冷却水塔或工业冷水机或深冷系统。（客户提供）

控制方式

手动/自动一体化方式、触摸屏操作、PLC或计算机控制

整机总功率

55KW

70KW

85KW

报警及保护

对泵和靶等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警，并执行相应保护措施及电气联锁功能。

设备占地面积

W2m×L3m

W3m×L4m

W4.5m×L6m

其他技术参数

水压≥0.2MPa、水温≤25℃、气压0.5-0.8MPa

其它机型

可以按照客户需求针对产品“量身定做”设计专用镀膜机